• Register
  • Login

机器人视频

Text Size
  • Small
  • Medium
  • Large

Print Page

视频中心

对应机型:SDC系列、SQC系列、SC系列、AC系列
垂直6轴机器人特有的动作区域,活用可向任意方向搬送晶圆的特点,实现了节省空间的配置。
6轴机器人可以水平,垂直,任意角度搬送晶圆的
例:搬送晶圆,搬送晶圆盒等

洗涤装置内晶圆的供给和回收作业

视频摘要:机器人:RV—12SQC
使用洁净型号的垂直多关节型6轴机器人,做洗涤装置内供给12英寸晶圆和回收作业。
视频中的机器人对应FA的整合平台IQ Platform (RV—SQ系列)。
播放时长:  1 分钟
视频大小:  约 2.11 MB

搬送晶圆盒,晶圆

视频摘要:机器人:RV—3SC,RV—6SC,RV—12SC
用洁净型多关节6轴机器人「RV-3SC、RV-6SC」搬送12英寸晶圆,「RV-12SC」搬送晶圆盒。
使用枚叶式抓手可以同时抓5片晶圆,用抓取盒子的抓手抓取晶圆盒。
播放时长:  55 秒
视频大小:  约 1.76 MB

 

联系我们
在华机构
技术支持热线
问询与建议

打假信息

软件序列号

FX部分模块停产通知

三菱电机自动化中国微信二维码

Powered By Inchnet