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机器人视频

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对应机型:SDC系列、SQC系列、SC系列、AC系列
垂直6轴机器人特有的动作区域,活用可向任意方向搬送晶圆的特点,实现了节省空间的配置。
6轴机器人可以水平,垂直,任意角度搬送晶圆的
例:搬送晶圆,搬送晶圆盒等

 

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