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半导体 电子电气 功能选件 机械加工 食品药品 物流 对应机型：SDC系列、SQC系列、SC系列、AC系列 垂直6轴机器人特有的动作区域，活用可向任意方向搬送晶圆的特点，实现了节省空间的配置。 6轴机器人可以水平，垂直，任意角度搬送晶圆的 例：搬送晶圆，搬送晶圆盒等 洗涤装置内晶圆的供给和回收作业 视频摘要：机器人：RV—12SQC 使用洁净型号的垂直多关节型6轴机器人，做洗涤装置内供给12英寸晶圆和回收作业。 视频中的机器人对应FA的整合平台IQ Platform （RV—SQ系列）。 播放时长：  1 分钟 视频大小：  约 2.11 MB 搬送晶圆盒，晶圆 视频摘要：机器人：RV—3SC，RV—6SC，RV—12SC 用洁净型多关节6轴机器人「RV-3SC、RV-6SC」搬送12英寸晶圆，「RV-12SC」搬送晶圆盒。 使用枚叶式抓手可以同时抓5片晶圆，用抓取盒子的抓手抓取晶圆盒。 播放时长：  55 秒 视频大小：  约 1.76 MB